Подарите скидку 10%
Посоветуйте эту книгу и получите 58,81 ₽ с покупки её другом.
Объем 157 страниц
2008 год
В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии.