Читайте только на ЛитРес

Книгу нельзя скачать файлом, но можно читать в нашем приложении или онлайн на сайте.

Основной контент книги Технология тонких плёнок для микро- и наноэлектроники
Текст PDF

Объем 108 страниц

2019 год

0+

Технология тонких плёнок для микро- и наноэлектроники

Учебное пособие
Читайте только на ЛитРес

Книгу нельзя скачать файлом, но можно читать в нашем приложении или онлайн на сайте.

399 ₽
156 ₽
Подарите скидку 10%
Посоветуйте эту книгу и получите 15,61 ₽ с покупки её другом.

О книге

Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены результаты исследований, начатых в 1970-х годах в Институте физики полупроводников Академии наук СССР и исследовательских отделах предприятий электронной промышленности г. Новосибирска. Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с методологией и технологией получения высококачественных ТП для изделий микроэлектроники, показана возрастающая роль ТП технологий в технологических маршрутах изготовления изделий, рассмотрены тенденции развития, типы и характеристики оборудования для процессов производства ИМС, технологические процессы получения различных ТП материалов на основе кремния, свойства ТП материалов.

Учебное пособие разработано в соответствии с рабочей программой учебной дисциплины «Семинары по специальности», образовательная программа: 11.04.04. «Электроника и наноэлектроника», магистерская программа «Микро- и наноэлектроника». Рекомендуется также для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 («Электроника и наноэлектроника»), 28.03.01 и 28.04.01 («Нанотехнологии и микросистемная техника») в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники.

Также рекомендуется для аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», представляет интерес для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.

Войдите, чтобы оценить книгу и оставить отзыв
Книга В. Ю. Васильева «Технология тонких плёнок для микро- и наноэлектроники» — читать онлайн на сайте. Оставляйте комментарии и отзывы, голосуйте за понравившиеся.
Возрастное ограничение:
0+
Дата выхода на Литрес:
21 марта 2023
Дата написания:
2019
Объем:
108 стр.
ISBN:
978-5-7782-3915-9
Общий размер:
3.4 МБ
Общее кол-во страниц:
108
Текст, доступен аудиоформат
Средний рейтинг 4,9 на основе 387 оценок
По подписке
Текст, доступен аудиоформат
Средний рейтинг 4,9 на основе 391 оценок
По подписке
Текст, доступен аудиоформат
Средний рейтинг 4,9 на основе 144 оценок
По подписке
Текст
Средний рейтинг 3 на основе 1 оценок
По подписке