Подарите скидку 10%
Посоветуйте эту книгу и получите 11,81 ₽ с покупки её другом.
0+
текстPDF
Объем 57 страниц
2014 год
Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение
текстPDF
118 ₽
О книге
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.
Оставьте отзыв
Войдите, чтобы оценить книгу и оставить отзыв
Описание книги
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.
Книга «Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение» — читать онлайн на сайте. Оставляйте комментарии и отзывы, голосуйте за понравившиеся.
Возрастное ограничение:
0+Дата выхода на Литрес:
16 января 2016Дата написания:
2014Объем:
57 стр. ISBN:
978-5-7038-3798-6Общий размер:
5.0 МБОбщее кол-во страниц:
57Правообладатель:
МГТУ им. Н.Э. Баумана
