Основной контент книги Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем
Текст PDF
Объем 129 страниц
2023 год
Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем
Учебное пособие
автор
В. Ю. Васильев
399 ₽
176 ₽
Подарите скидку 10%
Посоветуйте эту книгу и получите 17,61 ₽ с покупки её другом.
О книге
Пособие составлено на базе 40-летнего личного опыта работы автора на отечественных и зарубежных предприятиях микроэлектронной отрасли. Рассмотрена совокупность вопросов организации и использования в серийном производстве субмикронных интегральных микросхем (ИМС) методов непосредственного производственного (in-line) контроля тонкопленочных материалов основы современных ИМС. Приведены примеры приборов контроля и возможностей их применения для характеризации процессов получения и свойств тонких пленок. Рассмотрены... Далее
Войдите, чтобы оценить книгу и оставить отзыв
Книга В. Ю. Васильева «Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем» — читать онлайн на сайте. Оставляйте комментарии и отзывы, голосуйте за понравившиеся.
Возрастное ограничение:
0+Дата выхода на Литрес:
21 ноября 2023Дата написания:
2023Объем:
129 стр. ISBN:
978-5-7782-4926-4Общий размер:
6.0 МБОбщее кол-во страниц:
129Правообладатель:
Новосибирский государственный технический университет